Effect of target grain size on target sputter etching morphology and performance

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标题	Effect of target grain size on target sputter etching morphology and performance
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111083
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111083 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Shuai-Kang Wang; Wenhao Yang; Yu-Peng Wang; Guohua Zhao; Shang-Song Zhan; et al 出版日期：2022-04-14
求助人	默默绣连在 2026-10-06 14:07:56 发布自云南，悬赏 10 积分
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