HVPE growth of Si-doped β -Ga2O3 on sapphire: Influence of substrate offcut on structural and electrical properties

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标题	HVPE growth of Si-doped β -Ga2O3 on sapphire: Influence of substrate offcut on structural and electrical properties 相关领域材料科学蓝宝石外延光电子学电子迁移率表面粗糙度基质（水族馆）化学工程动力学分析化学（期刊）接受者增长率晶体生长沉积（地质）薄膜表面光洁度
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.03465... AI链接 arxiv.org arxiv.orgdoi.org
DOI	10.1063/5.0346508 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Sourav Sarker; Saleh Ahmed Khan; Ahmed Ibreljic; Anhar Bhuiyan 出版日期：2026-09-29
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