| 标题 |
 A low-loss SiN photonic integrated circuit foundry platform for waveguide-enhanced Raman spectroscopy 相关领域
材料科学
波导管
氮化硅
薄脆饼
光电子学
拉曼光谱
光子学
硅光子学
光谱学
等离子体增强化学气相沉积
硅
光学
物理
量子力学
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| DOI |
10.1117/12.2582529
doi
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| 其它 |
期刊：Smart Photonic and Optoelectronic Integrated Circuits XXIII 作者：Nathan Tyndall; Todd H. Stievater; Dmitry A. Kozak; Marcel W. Pruessner; William S. Rabinovich; et al 出版日期：2021-03-05 |
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