Formation and stabilization of pyramidal etch hillocks on silicon {100} in anisotropic etchants: Experiments and Monte Carlo simulation

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标题	Formation and stabilization of pyramidal etch hillocks on silicon {100} in anisotropic etchants: Experiments and Monte Carlo simulation
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.1352557
DOI	10.1063/1.1352557 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：A. J. Nijdam; E. van Veenendaal; H. M. Cuppen; J. van Suchtelen; M. L. Reed; et al 出版日期：2001-04-01
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