Directed self-assembly of medium-chi and high-chi block copolymers for DRAM C/H patterning

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标题	Directed self-assembly of medium-chi and high-chi block copolymers for DRAM C/H patterning
网址	https://doi.org/10.1117/12.3051487
DOI	10.1117/12.3051487 doi
其它	期刊：作者：Md. Saifur Rahman; Tomohiro Iwaki; Xianfeng Gao; Wataru Tada; Elizabeth Wolfer; et al 出版日期：2025-04-25
求助人	Trip_wyb 在 2026-09-28 23:58:45 发布自湖北，悬赏 20 积分
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