Effects of condensation reactions on the structural, mechanical, and electrical properties of plasma-deposited organosilicon thin films from octamethylcyclotetrasiloxane

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标题	Effects of condensation reactions on the structural, mechanical, and electrical properties of plasma-deposited organosilicon thin films from octamethylcyclotetrasiloxane
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.1923163
DOI	10.1063/1.1923163 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：April D. Ross; Karen K. Gleason 出版日期：2005-05-26
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