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 Effects of seed layer thickness and post-annealing process on crystalline quality of β-Ga2O3 films prepared on Si (100) substrate by RF magnetron sputtering 相关领域
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期刊：Vacuum 作者：Wei Mi; Xinwei Li; Yue Ding; Di Wang; Mingsheng Xu; et al 出版日期：2023-05-24 |
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