Fluid Simulation of the Plasma Characteristics in an Inductively Coupled Plasma Source with Planar and Cylindrical Coils

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标题	Fluid Simulation of the Plasma Characteristics in an Inductively Coupled Plasma Source with Planar and Cylindrical Coils 平面和圆柱线圈电感耦合等离子体源中等离子体特性的流体模拟相关领域感应耦合等离子体等离子体平面的流体模拟材料科学等离子体参数原子物理学物理机械计算机科学核物理学计算机图形学（图像）
网址	https://doi.org/10.1134/s1063780x22601092
DOI	10.1134/s1063780x22601092 doi
其它	期刊：Plasma Physics Reports 作者：Xiao‐Yan Sun; Min Yang; Song Chai; Hui Li 出版日期：2023-04-01
求助人	一只烊在 2025-08-05 15:05:17 发布自江苏，悬赏 10 积分
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