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 Aperture diameter dependences in GaN-based vertical-cavity surface-emitting lasers with nano-height cylindrical waveguide formed by BCl3 dry etching BCl3干法刻蚀纳米高圆柱波导GaN基垂直腔面发射激光器的孔径与直径的关系
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物理
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期刊：Applied Physics Express 作者：Ryosuke Iida; Yusuke Ueshima; Sho Iwayama; Tetsuya Takeuchi; Satoshi Kamiyama; et al 出版日期：2020-12-02 |
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CipherSage
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