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 Preparation of epitaxial YSZ thin film on Si(001) using metal and oxide targets by RF-magnetron sputtering 相关领域
材料科学
氧化钇稳定氧化锆
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期刊：Ferroelectrics 作者：Nobuyasu Mizutani; Naoki Wakiya; Makoto Yoshida Kenichi Hijikata; Kazuo Shinozaki 出版日期：2001-01-01 |
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