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 Effect of a seed layer on microstructure and electrical properties of Ga2O3 films on variously oriented Si substrates 种子层对不同取向Si衬底上Ga2O3薄膜结构和电学性能的影响
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期刊：Vacuum 作者：Keyun Gu; Zilong Zhang; Ke Tang; Jian Huang; Yi Shang; et al 出版日期：2021-10-13 |
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