Hybrid application of laser-focused atomic deposition and extreme ultraviolet interference lithography methods for manufacturing of self-traceable nanogratings

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网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/abdcec AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1088/1361-6528/abdcec doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：Jie Liu; Jun Zhao; Xiao Deng; Shumin Yang; Chaofan Xue; et al 出版日期：2021-01-18
求助人	白梅在 2025-10-29 14:59:53 发布自云南，悬赏 10 积分
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