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Study of surface quality during picosecond laser ablation–assisted grinding of C-face and Si-face of 4H-SiC crystals 皮秒激光烧蚀辅助磨削4H-SiC晶体C面和Si面表面质量的研究
相关领域
材料科学
研磨
面子(社会学概念)
皮秒
烧蚀
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激光器
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光学
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期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者:Yuying Yang; Guangfei Li; Tingting Zhou; Mingdong Yi; Shuoshuo Qu; et al 出版日期:2025-08-15 |
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