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 Contributions to innate material roughness in resist 抗蚀剂中固有材料粗糙度的贡献
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：J. M. Roberts; Robert P. Meagley; Theodore H. Fedynyshyn; Roger F. Sinta; David K. Astolfi; et al 出版日期：2006-03-10 |
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