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Contributions to innate material roughness in resist
抗蚀剂中固有材料粗糙度的贡献
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网址
https://doi.org/10.1117/12.655740
DOI
10.1117/12.655740 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：J. M. Roberts; Robert P. Meagley; Theodore H. Fedynyshyn; Roger F. Sinta; David K. Astolfi; et al
出版日期：2006-03-10
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福旺云吞 在 2025-10-27 08:09:35 发布自贵州，悬赏 20 积分
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