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Retrieving profile of photoresist with high aspect ratio and subwavelength features using optical spectroscopy and artificial neural network
相关领域
反射（计算机编程） 人工神经网络 光学 反射系数 插值（计算机图形学） 相关系数 计算机科学 度量（数据仓库） 材料科学 人工智能 物理 数据挖掘 机器学习 运动（物理） 程序设计语言
网址
http://dx.doi.org/10.1364/oe.517201
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1364/oe.517201 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：C. K. Chang; Chao-Wei Yang
出版日期：2024-02-13
求助人
听雨 在 2026-01-05 07:13:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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