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标题
Wet Chemical and Plasma Etching of Photosensitive Glass
光敏玻璃的湿化学和等离子体刻蚀
相关领域
各向同性腐蚀 蚀刻（微加工） 反应离子刻蚀 材料科学 干法蚀刻 等离子体刻蚀 等离子体 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 化学 图层（电子） 色谱法 物理 工程类 量子力学
网址
https://www.mdpi.com/2673-6497/4/3/14/pdf?version=1692611510
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/solids4030014 doi
其它 期刊：Solids
作者：Ulrike Brokmann; C. Weigel; Luisa-Marie Altendorf; Steffen Strehle; Edda Rädlein
出版日期：2023-08-21
求助人
zanedou 在 2025-11-15 11:43:55 发布自上海，悬赏 10 积分
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