发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Nucleation studies of high-κ aluminum oxide and hafnium oxide thin films on silicon carbide by plasma-enhanced atomic layer deposition
等离子体增强原子层沉积碳化硅上高κ氧化铝和氧化铪薄膜的成核研究
相关领域
成核 原子层沉积 材料科学 氧化铝 碳化硅 图层（电子） 铪 铝 沉积（地质） 硅 氧化物 等离子体 氧化硅 化学工程 冶金 纳米技术 化学 锆 有机化学 古生物学 氮化硅 工程类 物理 生物 量子力学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004252
DOI
10.1116/6.0004252 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Bruno Galizia; Emanuela Schilirò; Patrick Fiorenza; S. Peters; Jakob Zessin; et al
出版日期：2025-02-21
求助人
Lannon 在 2025-12-04 17:52:38 发布自甘肃，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Phase formation in a nanosize silicon oxide film on the surface of aluminum oxide
  2. Mechanical properties of hafnium
  3. Synthesis of Aluminum Oxide Nanostructures on the Silicon Surface
  4. Hafnium and Hafnium Compounds
  5. Hafnium and Hafnium Compounds
  6. Hafnium and Hafnium Compounds
  7. Hafnium and Hafnium Compounds
  8. Hafnium and Hafnium Compounds
  9. THE DETERMINATION OF HAFNIUM IN ZIRCONIUM USING A SPECTROGRAPHIC METHOD
  10. Properties of Iodide-Type Hafnium and Alloys in the Zirconium-Hafnium System
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 9小时前

    科研通AI2S 科研通AI2S 机器人Lv12 上传了文件

    待审核 022410_1_6.0004252.pdf (3.32 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 10小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    17:52:41 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    17:52:39 科研通AI机器人（澳大利亚 悉尼）收到请求，开始寻找文献
    17:52:38 已向机器人发送请求

  • 10小时前

    Lannon Lannon Lv4 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
杨天天完成签到 ，获得积分10
16秒前
30秒前
Richard发布了新的文献求助10
37秒前
xiliyusheng发布了新的文献求助10
41秒前
童童发布了新的文献求助10
46秒前
情怀的应助被xiliyusheng采纳，获得10
50秒前
mengzhe发布了新的文献求助10
1分钟前
席江海完成签到，获得积分0
1分钟前
医学耗材完成签到 ，获得积分10
1分钟前
毕业就集采的苦命人完成签到 ，获得积分10
1分钟前
斯文败类的应助被科研通管家采纳，获得10
2分钟前
hb完成签到，获得积分10
2分钟前
3分钟前
冷傲半邪完成签到，获得积分10
4分钟前
橙子Latte发布了新的文献求助30
4分钟前
4分钟前
Emperor发布了新的文献求助10
4分钟前
科研通AI6的应助被guan采纳，获得10
4分钟前
5分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
5分钟前
所所的应助被ph采纳，获得10
6分钟前
爱笑半莲发布了新的文献求助10
6分钟前
6分钟前
6分钟前
guan发布了新的文献求助10
6分钟前
ph发布了新的文献求助10
6分钟前
Emperor发布了新的文献求助10
6分钟前
6分钟前
科研通AI6的应助被guan采纳，获得10
6分钟前
nk完成签到 ，获得积分10
6分钟前
爱笑半莲完成签到，获得积分10
7分钟前
7分钟前
Omni完成签到，获得积分10
7分钟前
7分钟前
guan发布了新的文献求助10
8分钟前
xiliyusheng完成签到，获得积分10
10分钟前
10分钟前
xiliyusheng发布了新的文献求助10
10分钟前
汉堡包的应助被xiliyusheng采纳，获得10
11分钟前
老迟到的友桃完成签到 ，获得积分10
11分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Practical Methods for Aircraft and Rotorcraft Flight Control Design: An Optimization-Based Approach 1000
2025-2031年中国兽用抗生素行业发展深度调研与未来趋势报告 1000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 831
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition 500
Synthesis and properties of compounds of the type A (III) B2 (VI) X4 (VI), A (III) B4 (V) X7 (VI), and A3 (III) B4 (V) X9 (VI) 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5413370
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4530433
关于积分的说明 14122970
捐赠科研通 4445504
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2439229
邀请新用户注册赠送积分活动 1431266
关于科研通互助平台的介绍 1408791
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通