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Suppression of stacking-fault expansion in 4H-SiC PiN diodes using proton implantation to solve bipolar degradation 用质子注入抑制4H-SiC PiN二极管中的层错扩展以解决双极退化
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期刊:Scientific Reports 作者:Masashi Kato; Ohga Watanabe; Toshiki Mii; Hitoshi Sakane; Shunta Harada 出版日期:2022-11-05 |
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