Machine Learning Assisted In-Situ Sensing and Detection on System of PECVD Depositing Hydrogenated Silicon Films - 科研通

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标题	Machine Learning Assisted In-Situ Sensing and Detection on System of PECVD Depositing Hydrogenated Silicon Films PECVD沉积氢化硅膜系统的机器学习辅助原位传感与检测相关领域等离子体增强化学气相沉积薄膜材料科学硅结晶纳米晶材料化学气相沉积沉积（地质）晶体硅光谱学分析化学（期刊）碳膜光电子学化学工程纳米技术化学物理量子力学生物工程类古生物学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1109/cstic52283.2021.9461536
DOI	10.1109/cstic52283.2021.9461536 doi
其它	期刊：2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 作者：Yu-Pu Yang; Hsiao-Han Lo; Weilun Chen; Song-Ho Wang; Te-Yun Lu; et al 出版日期：2021-03-14
求助人	PhysicsXX 在 2025-06-04 15:39:10 发布自中国，悬赏 20 积分
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