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 Microscopic Removal Function and the Relationship Between Slurry Particle Size Distribution and Workpiece Roughness During Pad Polishing 垫抛光过程中的微观去除函数及浆料粒度分布与工件粗糙度的关系
相关领域
材料科学
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期刊：Journal of the American Ceramic Society 作者：Tayyab Suratwala; Michael D. Feit; William A. Steele; Lana L. Wong; Nan Shen; et al 出版日期：2013-11-29 |
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