Tailoring the properties of ZnO thin films by low energy ion beam interaction

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标题	Tailoring the properties of ZnO thin films by low energy ion beam interaction 低能离子束相互作用对ZnO薄膜性能的调控相关领域材料科学离子束薄膜离子梁（结构）离子束沉积工程物理能量（信号处理）光电子学纳米技术光学数学量子力学统计物理工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s10854-025-14446-2
DOI	10.1007/s10854-025-14446-2 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者：Sikta Mandal; Shushant Kumar Singh; Pravin Kumar; Udai P. Singh 出版日期：2025-02-01
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