| 标题 |
 Modelling and experimental study of roughness in silicon wafer self-rotating grinding 硅片自旋转磨削粗糙度的建模与实验研究
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| 其它 |
期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Jinglong Sun; Pei Chen; Fei Qin; Tong An; Huiping Yu; et al 出版日期：2017-11-08 |
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