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 Optimization and Structural Characterization of W/Al2O3 Nanolaminates Grown Using Atomic Layer Deposition Techniques 采用原子层沉积技术生长的W/Al2O3纳米层压材料的优化和结构表征
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期刊：Chemistry of Materials 作者：Z. A. Sechrist; F. Fabreguette; Olivier Heintz; Theodore Phung; David C. Johnson; et al 出版日期：2005-05-28 |
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