Zero expansion glass ceramic ZERODUR®roadmap for advanced lithography

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标题	Zero expansion glass ceramic ZERODUR®roadmap for advanced lithography 零膨胀玻璃陶瓷ZERODUR®先进印刷术路线图相关领域热膨胀材料科学平版印刷术陶瓷十字线光学同质性（统计学）光刻无定形固体复合材料薄脆饼光电子学物理计算机科学化学有机化学机器学习
网址	https://doi.org/10.1117/12.2011873
DOI	10.1117/12.2011873 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Thomas Westerhoff; Ralf Jedamzik; Peter Hartmann 出版日期：2013-04-12
求助人	大力天佑在 2025-09-19 20:19:47 发布自河北，悬赏 20 积分
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