Annealing effects on properties of Ga2O3 films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition - 科研通

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标题	Annealing effects on properties of Ga2O3 films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition 相关领域材料科学结晶度退火（玻璃）原子层沉积蓝宝石薄膜等离子体分析化学（期刊）镓化学工程纳米技术复合材料冶金光学化学激光器物理工程类色谱法量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matlet.2018.11.012
DOI	10.1016/j.matlet.2018.11.012 doi
其它	期刊：Materials Letters 作者：Fengfeng Shi; Jun Han; Yanhui Xing; Junshuai Li; Li Zhang; et al 出版日期：2018-11-12
求助人	jellorio 在 2025-09-23 15:23:39 发布自福建，悬赏 10 积分
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