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标题
On uniformity and non-local transport in low pressure capacitively coupled plasmas
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DOI
10.1088/1361-6595/abac4a doi
其它 期刊:Plasma Sources Science and Technology
作者:Shahid Rauf
出版日期:2020-08-04
求助人
钟123 在 2026-08-26 17:18:50 发布自上海,悬赏 10 积分
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