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标题
Decoupled control of ion transport, energy, and throughput in ultra-low-pressure high-aspect-ratio contact SiO2 etching using C3F6/C4F8 plasmas
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2026.115421
DOI
10.1016/j.vacuum.2026.115421 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Jiachen Wei; Chen Yang; Kyong-Nam Kim; Kwang-Ho Kwon
出版日期：2026-09-01
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hjw 在 2026-09-19 18:25:49 发布自江苏，悬赏 10 积分
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