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 An approximate dynamic programming approach to wafer-lot scheduling for parallel multi-chamber equipment in semiconductor fabrication lines 相关领域
调度（生产过程）
计算机科学
动态规划
半导体器件制造
作业车间调度
动态优先级调度
制作
数学优化
工程类
分布式计算
实时计算
生产线
控制工程
线性规划
嵌入式系统
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期刊：International Journal of Production Research 作者：Sungwon Hong; Younsoo Lee; Kyungsik Lee 出版日期：2025-11-06 |
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(2025-6-4)
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