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标题
Low dielectric constant materials for microelectronics
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DOI
10.1063/1.1567460 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:K. Maex; M. R. Baklanov; D. Shamiryan; F. lacopi; S. H. Brongersma; Z. S. Yanovitskaya
出版日期:2003
求助人
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