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 Iron-catalyzed selective thermochemical etching achieves planarization of polycrystalline diamond 相关领域
化学机械平面化
蚀刻（微加工）
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期刊：Applied Surface Science 作者：Nian Liu; Lu Hao; Haoran Wang; Yongjie Zhang; Junfeng Xiao; et al 出版日期：2025-10-10 |
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