Study on the piezoresistivity of Cr-doped V2O3 thin film for MEMS sensor applications

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标题	Study on the piezoresistivity of Cr-doped V2O3 thin film for MEMS sensor applications
网址	https://doi.org/10.1038/s41378-024-00807-0
DOI	10.1038/s41378-024-00807-0 doi
其它	期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Michiel Gidts; Wei-Fan Hsu; Maria Recaman Payo; Shaswat Kushwaha; Frederik Ceyssens; et al 出版日期：2024
求助人	cc 在 2026-04-27 13:11:32 发布自浙江，悬赏 10 积分
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