Non-fluorine KrF photoresist for 28nm node application - 科研通

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标题	Non-fluorine KrF photoresist for 28nm node application
网址	https://doi.org/10.1117/12.3086221
DOI	10.1117/12.3086221 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Eric Cheng Yu Fang; Chan Yuan Hu; Ting Chun Lin; Cooper Ma; Zhilei Yuan; et al 出版日期：2026
求助人	xu 在 2026-06-07 19:41:50 发布自上海，悬赏 20 积分
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Taylor & Francis

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