Combination of e-Beam Lithography and of High Velocity AlN/Diamond-Layered Structure for SAW Filters in X Band

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标题	Combination of e-Beam Lithography and of High Velocity AlN/Diamond-Layered Structure for SAW Filters in X Band
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/58/4277137/04277167.pdf?...
DOI	10.1109/tuffc.2007.411 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 作者：Philippe Kirsch; Mohamed B. Assouar; Omar Elmazria; M. El Hakiki; Vincent Mortet; Patrick Alnot 出版日期：2007-08-08
求助人	郑凯翔在 2026-03-17 20:30:32 发布自福建，悬赏 10 积分
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