Effect of femtosecond laser-induced internal stress adjustment zones on 4 H-SiC wafer warpage

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标题	Effect of femtosecond laser-induced internal stress adjustment zones on 4 H-SiC wafer warpage
网址	https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s00339-025-088...
DOI	10.1007/s00339-025-08875-3 doi
其它	期刊：Applied Physics A 作者：Jia-Fan Kuo; Yun-Chieh Tsai; Chung-Wei Cheng; An-Chen Lee 出版日期：2025-08-21
求助人	Wonder罗在 2026-10-29 18:47:45 发布自江苏，悬赏 10 积分
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