Enhanced Dopant Activation and Reduced Specific Contact Resistivity in Ti/n + -Si Contacts by O 2 Ambient Spike Annealing

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标题	Enhanced Dopant Activation and Reduced Specific Contact Resistivity in Ti/n + -Si Contacts by O 2 Ambient Spike Annealing
网址	http://dx.doi.org/10.1149/2162-8777/ae613e
DOI	10.1149/2162-8777/ae613e doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Jianhong Liu; Jing Xu; Xiaoxue Ji; Jinbiao Liu; Binbin Xu; et al 出版日期：2026-04-01
求助人	洲嘞个洲在 2026-10-02 21:22:24 发布自河南，悬赏 10 积分
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