Predictive Control of Surface Roughness as a Function of Temperature in a SiNx Thin Film Deposition Process Using the Kinetic Monte Carlo Method

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标题	Predictive Control of Surface Roughness as a Function of Temperature in a SiNx Thin Film Deposition Process Using the Kinetic Monte Carlo Method
网址	http://dx.doi.org/10.12693/aphyspola.147.333
DOI	10.12693/aphyspola.147.333 doi
其它	期刊：Acta Physica Polonica A 作者：A. Bouhadiche; S. Benghorieb; H. Bouridah; M.R. Beghoul; R. Remmouche; et al 出版日期：2025-04-01
求助人	善良水池在 2026-10-12 19:52:07 发布自江苏，悬赏 10 积分
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