Sensitivity enhancement of a high-resolution negative-tone nonchemically amplified metal organic photoresist for extreme ultraviolet lithography

已完结

文献求助详情

标题	Sensitivity enhancement of a high-resolution negative-tone nonchemically amplified metal organic photoresist for extreme ultraviolet lithography
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.041404
DOI	10.1117/1.jmm.21.4.041404 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Scott Lewis; Hayden R. Alty; Michaela Vockenhuber; Guy A. DeRose; Antonio Fernández; et al 出版日期：2022-06-02
求助人	樊珩在 2026-08-10 01:18:09 发布自上海，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

International Society for Optics and Photonics (SPIE)

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 我要读博完成签到，获得积分10

4秒前; v0id的应助被清爽的大树采纳，获得10

5秒前; Owen上传了应助文件

18秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

20秒前; WU发布了新的文献求助10

20秒前; dxz发布了新的文献求助10

24秒前; 领导范儿的应助被赶due小天才采纳，获得10

28秒前; yike发布了新的文献求助10

34秒前; 欧皇完成签到，获得积分10

35秒前; dxz完成签到，获得积分10

39秒前; 领导范儿上传了应助文件

40秒前; 我是老大上传了应助文件

41秒前; 今后的应助被dxz采纳，获得30

42秒前; justin发布了新的文献求助50

46秒前; 赶due小天才发布了新的文献求助10

46秒前; 星辰大海上传了应助文件

50秒前; 万能图书馆的应助被justin采纳，获得50

51秒前; 弟弟完成签到，获得积分10

51秒前; yike完成签到，获得积分10

54秒前; 高高的忆山发布了新的文献求助10

55秒前; 清爽的大树完成签到，获得积分10

55秒前; ming2026上传了应助文件

1分钟前; 完美世界上传了应助文件

1分钟前; 天天快乐的应助被赶due小天才采纳，获得10

1分钟前; 高高的忆山发布了新的文献求助10

1分钟前; justin完成签到，获得积分10

1分钟前; 韦老虎完成签到，获得积分10

1分钟前; 是小越啊完成签到，获得积分10

1分钟前; ming2026上传了应助文件

1分钟前; LVEMI完成签到，获得积分10

1分钟前; 高高的忆山发布了新的文献求助10

1分钟前; NexusExplorer的应助被迅速的薯片采纳，获得10

1分钟前; 十七完成签到，获得积分10

1分钟前; ZDU完成签到，获得积分10

1分钟前; ming2026上传了应助文件

1分钟前; 烟花的应助被科研启动采纳，获得10

1分钟前; ming2026的应助被独特的高山采纳，获得10

1分钟前; 可耐的映冬完成签到，获得积分10

1分钟前; 从容的凌文完成签到，获得积分20

2分钟前; 动人的又菡完成签到，获得积分10

2分钟前