A Comparison of Cl2 and HBr/Cl2-Based Polysilicon Etch Chemistries: Impact on SiO2 and Si Substrate Damage

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标题	A Comparison of Cl2 and HBr/Cl2-Based Polysilicon Etch Chemistries: Impact on SiO2 and Si Substrate Damage
网址	http://dx.doi.org/10.1143/jjap.32.3023
DOI	10.1143/jjap.32.3023 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：John F. Rembetski; Y D. Chan; E. Boden; Tieer Gu; O. O. Awadelkarim; et al 出版日期：1993-06-01
求助人	JZAUA 在 2026-09-21 21:04:51 发布自上海，悬赏 10 积分
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