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 Optimization of PVD Ti/CVD TiN Liner for 0.35 μm Tungsten Plug Technology 相关领域
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期刊：MRS Proceedings 作者：C.-K. Wang; L. M. Liu; D. M. Liao; D. C. Smith; M. Danek 出版日期：2011-04-06 |
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科研求助111
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