Thermal Conductivity and Thermal Boundary Resistance of Low–Dielectric Constant Interlayer Dielectrics in Advanced Very Large Scale Integration Interconnects

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标题	Thermal Conductivity and Thermal Boundary Resistance of Low–Dielectric Constant Interlayer Dielectrics in Advanced Very Large Scale Integration Interconnects
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsaelm.5c01142
DOI	10.1021/acsaelm.5c01142 doi
其它	期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Tianzhuo Zhan; Chong Zheng; Mao Xu; Zhi Cao; Yen-Ju Wu; et al 出版日期：2025-09-02
求助人	沉默的听白在 2026-08-24 18:55:24 发布自浙江，悬赏 10 积分
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