Influence of sidewall affinity on the directed self-assembly for contact hole multiplication

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标题	Influence of sidewall affinity on the directed self-assembly for contact hole multiplication
网址	https://doi.org/10.1117/12.3055257
DOI	10.1117/12.3055257 doi
其它	期刊：Eighth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2024) 作者：Jiacheng Luo; Zhiyong Wu; Zili Li; Yan Zhang; Shengxiang Ji; et al 出版日期：2024-12-11
求助人	Hannahcx 在 2026-08-24 18:49:31 发布自上海，悬赏 20 积分
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American Phytopathological Society (APS)

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