ESCA and SEXAFS investigations of insulating materials for ULSI microelectronics

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标题	ESCA and SEXAFS investigations of insulating materials for ULSI microelectronics
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0042207X90...
DOI	10.1016/0042-207x(90)94025-l doi
其它	期刊：Vacuum 作者：J. Finster; E.-D. Klinkenberg; J. Heeg; W. Braun 出版日期：2003-05-20
求助人	lxy 在 2026-04-01 14:05:17 发布自四川，悬赏 10 积分
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