Simulation of Silicon Carbide Sputtering by a Focused Gallium Ion Beam

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标题	Simulation of Silicon Carbide Sputtering by a Focused Gallium Ion Beam 聚焦镓离子束溅射碳化硅的模拟相关领域溅射镓材料科学碳化硅碳化物离子离子束聚焦离子束硅工程物理梁（结构）光电子学化学纳米技术薄膜光学物理冶金有机化学
网址	https://doi.org/10.1134/s1063782622130085
DOI	10.1134/s1063782622130085 doi
其它	期刊：Semiconductors 作者：A. V. Rumyantsev; O. V. Podorozhniy; Р. Л. Волков; Н. И. Боргардт 出版日期：2022-12-01
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