Low temperature atomic layer deposition of GaOxNy thin film on III-GaN:Mg for UV photodetector

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标题	Low temperature atomic layer deposition of GaOxNy thin film on III-GaN:Mg for UV photodetector
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.00310...
DOI	10.1063/5.0031097 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Longxing Su; Sheng-Yu Chen; Lianqi Zhao; Yuqing Zuo; Jin Xie 出版日期：2020-11-23
求助人	OnlyHarbour 在 2026-01-28 18:32:00 发布自广东，悬赏 10 积分
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