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 An SOI-MEMS Acoustic Sensor Based on Optical Grating Interferometer 相关领域
电容感应
材料科学
绝缘体上的硅
微电子机械系统
话筒
干涉测量
振膜（声学）
栅栏
压阻效应
光学
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物理
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Yan Li; Minghao Zuo; Jifang Tao 出版日期：2023-01-27 |
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