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标题
Plasma Ion Bombardment Induced Heat Flux on the Wafer Surface in Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etch
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网址
DOI
10.3390/app13179533 doi
其它 期刊:Applied Sciences
作者:Sung‐Il Cho; Hyun Keun Park; Surin An; Sang Jeen Hong
出版日期:2023-08-23
求助人
gang 在 2026-01-12 22:02:31 发布自北京,悬赏 10 积分
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