发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Sequence modeling for predicting three-dimensional plasma etching profiles with deep learning
相关领域
序列（生物学） 蚀刻（微加工） 深度学习 等离子体 等离子体刻蚀 人工智能 计算机科学 材料科学 纳米技术 化学 图层（电子） 物理 核物理学 生物化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004669
DOI
10.1116/6.0004669 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：J. D. Guo; Z.-J. Mou; Kun Ren; Dong Ni; Dawei Gao
出版日期：2025-06-13
求助人
STP顶峰相见 在 2026-01-13 11:15:20 发布自北京，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nanoscale Devices: Advanced Neutral-Beam Etching
  2. The role of feedgas chemistry, mask material, and processing parameters in profile evolution during ...
  3. An Autonomously Controllable Plasma Etching System Based on Radical Monitoring
  4. Optical interferometry Endpoint Detection for Plasma Etching
  5. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  6. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  7. SiC Plasma and Electrochemical Etching for Integrated Technology Processes
  8. A novel two-step etching to suppress the charging damages during metal etching employing helicon wav...
  9. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  10. Plasma Chemistry
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3小时前

    英俊的铭 英俊的铭 Lv11 上传了文件

    待审核 043005_1_6.0004669.pdf (2.93 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    11:15:24 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    11:15:21 科研通AI机器人（上海）收到请求，开始寻找文献
    11:15:20 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    STP顶峰相见 STP顶峰相见 Lv6 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
ttzi发布了新的文献求助10
1秒前
tree完成签到，获得积分10
1秒前
汤飞飞发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
2秒前
CipherSage的应助被LLL采纳，获得10
2秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
3秒前
嘿嘿嘿完成签到，获得积分10
3秒前
3秒前
snowdream发布了新的文献求助10
3秒前
张张发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
正直小蚂蚁完成签到，获得积分10
3秒前
封小封发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
青秋鱼罐头完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
大模型的应助被威武的醉波采纳，获得10
4秒前
大模型的应助被叫滚滚采纳，获得10
4秒前
4秒前
4秒前
4秒前
5秒前
tree发布了新的文献求助10
5秒前
落安白完成签到，获得积分10
5秒前
云朵发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
6秒前
lwq发布了新的文献求助30
6秒前
子车茗的应助被吐丝麵包采纳，获得20
6秒前
7秒前
Siqing发布了新的文献求助10
7秒前
科研微微发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
阿斯顿风格完成签到，获得积分10
8秒前
郭方亮完成签到，获得积分10
9秒前
沉默的冬寒完成签到 ，获得积分10
9秒前
可爱的函函的应助被jiyuan采纳，获得10
9秒前
9秒前
icyyy完成签到，获得积分10
9秒前
高分求助中
Theoretical Modelling of Unbonded Flexible Pipe Cross-Sections 10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Basic And Clinical Science Course 2025-2026 3000
《药学类医疗服务价格项目立项指南（征求意见稿）》 880
花の香りの秘密―遺伝子情報から機能性まで 800
Stop Talking About Wellbeing: A Pragmatic Approach to Teacher Workload 500
Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, 3rd Edition 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5613817
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4699031
关于积分的说明 14900285
捐赠科研通 4737832
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2547283
邀请新用户注册赠送积分活动 1511166
关于科研通互助平台的介绍 1473642
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通