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 Refractive Index Tuning of All-Inorganic TiO2 Nanocrystal-Based Films and High Aspect Ratio Nanostructures Using Atomic Layer Deposition: Implications for High-Throughput Fabrication of Metalenses 相关领域
原子层沉积
材料科学
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期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Dae Eon Jung; Irene R. Howell; Vincent J. Einck; Feyza Dundar Arisoy; Lucas D. Verrastro; et al 出版日期：2023-01-25 |
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