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Quality Improvement of GaN Epi-layers Grown with a Strain-Releasing Scheme on Suspended Ultrathin Si Nanofilm Substrate 悬浮超薄Si纳米膜衬底上应变释放生长GaN外延层的质量改善
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期刊:Nanoscale Research Letters 作者:Kejia Wang; Y. Song; Yichun Zhang; Yunyan Zhang; Zhiyuan Cheng 出版日期:2022-10-15 |
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