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标题
Comparative study of film quality on c axis oriented AlN deposited by pulsed DC and RF reactive sputtering with optical emission spectroscopy big data analysis
脉冲直流和射频反应溅射沉积c轴取向AlN薄膜质量的比较研究
相关领域
溅射 材料科学 光谱学 光电子学 质量（理念） 分析化学（期刊） 薄膜 化学 物理 纳米技术 色谱法 量子力学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004001
DOI
10.1116/6.0004001 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Xue-Li Tseng; Hsuan-Fan Chen; Yu-shin Chen; Shun-Chien Chiu; Hsiao-Han Lo; et al
出版日期：2025-02-18
求助人
pengyufen 在 2025-12-05 08:47:32 发布自中国台湾，悬赏 10 积分
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